• 利用XY階段的協同效果而達成高生產量,並且藉由高速晶圓處理和獨家驅動單元創造高速和優良的無聲性。
• 此外,Z軸可達成世界最高標準的負載度和高精確度。
• 它配有彩色相機的高放大光學系統,並且採用具備原始可操作性的大顯示螢幕,以增進可操作性。
• 它可接納每一種針測環境,並結合了廣泛多樣選擇的彈性。
• 針測環境可接納高溫到低溫
• 傾斜校正功能可執行探針卡的平面校正
• FFU實現乾淨針測環境
• 探測負載超過400kgf
• 樞紐型機械手臂是為了超過1,000kgf的針測端而設計
• 低噪音針測環境
• 高壓電針測環境
• 廣泛多樣的網路環境
• 探針追蹤檢查功能