适合测试分立器件的200mm探针台。 开环系统和轻量化的Z轴系统,实现了更高的生产效率。
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• 它可執行4至8英吋晶圓的傳輸與針測。
• 採用和UF2000相同的MMI。
• 多種選擇,可達成所有非業界標準種類的晶圓針測。
• 封裝與超薄晶圓的傳輸是經由特殊傳輸機制
• SEMS是經由特殊機制傳輸
• 微小電流針測環境
• 高壓電針測環境
• 探針追蹤檢查功能