采用 Ecdm 400E 通用 ESD 模拟器的半自动 ESD 测试仪。与手动晶圆探测系统或晶粒操纵器一起使用,可以完成晶圆或晶粒级半自动 ESD 测试以及封装器件测试。
通过 V-I 曲线或泄漏电流变化检测来检测损坏。应力水平和测量点由个人计算机通过 GP-IB 进行编程。一旦选择了测试端子,会自动测量 ESD 耐久性。
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• 符合 MIL、EIA/JEDEC、JEITA,AEC 与 ESDA(HBM 和 MM)等各项标准
• 低成本的晶圆或晶粒测试
• 在 ESD 测试期间,可以在 PC 显示器上监测 V-I 曲线。
• 可以分别监测通过多个接地回路的电流。
• ESD 波形可根据用户规格以及上述已发布规格进行定制。
• 快速测试是可能的,因为仅需要少许编程,但不需要 DUT 板。
• 可选择皮安计。